大陸半導體微影設備（曝光機）廠商芯上微裝自主研發的0.35微米步進式曝光機AST6200，通過大陸化合物半導體龍頭客戶的技術驗證，並獲得相當規模的訂單。雖然並非在高端曝光機突破，但顯示大陸國產曝光機在化合物半導體領域具備替代進口的能力。