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愛德萬測試先進光罩CD-SEM「E3660」 支援2奈米節點 09-15 10:51

愛德萬測試初步將鎖定獨立光罩廠 (Merchant Mask Shop) 和自製光罩廠 (Captive Mask Shop) 為E3660部署目標。前者是為外部客戶生產光罩的專業製造商;後者則是半導體製造廠自有的光罩生產設施。此一部署策略將E3660定位為先進光罩開發與生產合格試驗的關鍵評估工具。

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